[发明专利]用于图案保真度控制的方法与设备有效
| 申请号： | 201780079785.8 | 申请日： | 2017-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN110088689B | 公开（公告）日： | 2022-05-13 |
| 发明（设计）人： | T·哈桑;V·K·贾因;斯蒂芬·亨斯克;B·拉方丹 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F9/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 胡良均 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种确定形貌的方法，该方法包括：获得第一聚焦值，所述第一聚焦值从对未经图案化的衬底的图案化建模的计算光刻模型导出或从未经图案化的衬底上的图案化层的测量导出；获得第二聚焦值，所述第二聚焦值从具有形貌的衬底的测量导出；和根据第一聚焦值和第二聚焦值确定所述形貌的值。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 图案 保真度 控制 方法 设备 | ||
【主权项】：
1.一种确定形貌的方法，所述方法包括：获得第一聚焦值，所述第一聚焦值从对未经图案化的衬底的图案化建模的计算光刻模型导出或从未经图案化的衬底上的图案化层的测量导出；获得第二聚焦值，所述第二聚焦值从具有形貌的衬底的测量导出；和根据所述第一聚焦值和第二聚焦值确定所述形貌的值。
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