[发明专利]III族氮化物层叠体的制造方法、检查方法、以及III族氮化物层叠体有效
| 申请号： | 201780080600.5 | 申请日： | 2017-11-09 |
| 公开（公告）号： | CN110191979B | 公开（公告）日： | 2021-07-30 |
| 发明（设计）人： | 堀切文正;三岛友义 | 申请（专利权）人： | 住友化学株式会社;赛奥科思有限公司;学校法人法政大学 |
| 主分类号： | C30B29/38 | 分类号： | C30B29/38;C23C16/34;C23C16/52;C30B25/20;H01L21/205;G01N21/64;G01N21/88;H01L21/20 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;李茂家 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | III族氮化物层叠体的制造方法具有如下工序：准备III族氮化物层叠体的工序，所述III族氮化物层叠体具有III族氮化物基板和在III族氮化物基板的主面的上方形成的III族氮化物外延层；以及，针对III族氮化物外延层的、III族氮化物基板的主面的法线方向与c轴方向所成的偏离角的大小不同的多个测定位置进行光致发光图谱测定，获取黄色发光强度相对于带边发光强度之比即相对黄色强度，并获取偏离角的大小与相对黄色强度的对应关系的工序。 | ||
| 搜索关键词： | iii 氮化物 层叠 制造 方法 检查 以及 | ||
【主权项】：
1.一种III族氮化物层叠体的制造方法，其具有如下工序：准备第一III族氮化物层叠体的工序，所述第一III族氮化物层叠体具有第一III族氮化物基板和在所述第一III族氮化物基板的主面的上方形成的第一III族氮化物外延层；以及针对所述第一III族氮化物外延层的、所述第一III族氮化物基板的主面的法线方向与c轴方向所成的偏离角的大小不同的多个测定位置进行光致发光图谱测定，获取黄色发光强度相对于带边发光强度之比即相对黄色强度，获取偏离角的大小与相对黄色强度的对应关系的工序。
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