[发明专利]TFT基板、具备TFT基板的扫描天线以及TFT基板的制造方法有效
| 申请号： | 201780081158.8 | 申请日： | 2017-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN110140221B | 公开（公告）日： | 2022-03-08 |
| 发明（设计）人： | 美崎克纪 | 申请（专利权）人： | 夏普株式会社 |
| 主分类号： | H01L29/786 | 分类号： | H01L29/786;G02F1/13;H01Q3/34;H01Q3/44;H01Q13/22 |
| 代理公司： | 北京市隆安律师事务所 11323 | 代理人： | 权鲜枝;张艳凤 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | TFT基板(105)具备：包含多个天线单位区域(U)的发送接收区域(R1)；以及位于发送接收区域以外的区域的非发送接收区域(R2)。多个天线单位区域各自具有TFT(10)和电连接到TFT的漏极电极(7D)的贴片电极(3PE)。TFT基板具有：源极金属层(7)，其包含TFT的源极电极(7S)、漏极电极以及源极总线(SL)；栅极金属层(3)，其形成在源极金属层上，包含TFT的栅极电极(3G)和栅极总线(GL)；栅极绝缘层(4)，其形成在源极金属层与栅极金属层之间；层间绝缘层(11)，其形成在栅极金属层上；以及导电层(19)，其形成在层间绝缘层上。贴片电极包含于栅极金属层。 | ||
| 搜索关键词： | tft 基板 具备 扫描 天线 以及 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种TFT基板，具有电介质基板和在上述电介质基板上排列的多个天线单位区域，具备包含上述多个天线单位区域的发送接收区域和位于上述发送接收区域以外的区域的非发送接收区域，上述多个天线单位区域各自具有TFT和电连接到上述TFT的漏极电极的贴片电极，上述TFT基板的特征在于，具有：源极金属层，其支撑于上述电介质基板，包含上述TFT的源极电极、上述漏极电极以及连接到上述源极电极的源极总线；栅极金属层，其形成在上述源极金属层上，包含上述TFT的栅极电极和连接到上述栅极电极的栅极总线；栅极绝缘层，其形成在上述源极金属层与上述栅极金属层之间；层间绝缘层，其形成在上述栅极金属层上；以及导电层，其形成在上述层间绝缘层上，上述贴片电极包含于上述栅极金属层。
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