[发明专利]用于光扫描仪的MEMS扫描模块

摘要

本发明涉及一种用于光扫描仪(99)的扫描模块(100)，包括基座(141)和被配置成用于固定镜面(151)的界面元件(142)。扫描模块(100)还包括至少一个支撑元件(101，102)，该支撑元件在基座(141)和界面元件(142)之间垂直于镜面延伸，并且具有不小于0.7毫米的延伸量。该基座(141)、界面元件(142)和至少一个该支撑元件(101)制成一个整体。

主权项

1.一种用于光扫描仪(99)的扫描模块(100)，包括:基座(141，141‑1，141‑2)，界面元件(142，142‑1，142‑2)，其被配置成用于固定镜面(151)，以及至少一个支撑元件(101，101‑1，101‑2，102，102‑1，102‑2)，其被设计成弹性的，在所述基座(141，141‑1，141‑2)和所述界面元件(142，142‑1，142‑2)之间垂直于所述镜面延伸，并且具有不小于0.7毫米的延伸量，其中所述基座(141，141‑1，141‑2)、所述界面元件(142，142‑1，142‑2)和所述至少一个支撑元件(101，101‑1，101‑2，102，102‑1，102‑2)一体形成。