[发明专利]具有高电子迁移率异质结的电子元件有效

专利信息
申请号: 201780083126.1 申请日: 2017-11-08
公开(公告)号: CN110168737B 公开(公告)日: 2022-05-31
发明(设计)人: 埃尔文·莫尔万 申请(专利权)人: 原子能和替代能源委员会
主分类号: H01L29/778 分类号: H01L29/778;H01L29/872;H01L29/417;H01L29/205
代理公司: 北京柏杉松知识产权代理事务所(普通合伙) 11413 代理人: 谢攀;刘继富
地址: 法国*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明涉及一种具有高电子迁移率异质结的电子元件(1),所述电子元件包括:‑第一半导体材料层(12)和第二半导体材料层(13)的叠加,以便在第一和第二半导体层之间的界面附近形成电子气层(14);和‑传导电极的第一和第二金属接触部(21、22),其相对于电子气层垂直地形成在所述第二半导体材料层(13)上。所述第一和第二金属接触部中的至少一个具有接触长度L,使得L≤1.5*√(ρc/R2Deg);其中ρc表示在425K温度下的所述金属接触部与电子气层的电阻率,其中R2Deg是在425K温度下电子气层中的方块电阻。
搜索关键词: 具有 电子 迁移率 异质结 电子元件
【主权项】:
1.一种具有高电子迁移率异质结的电子元件(1),包括:‑第一半导体材料层(12)和第二半导体材料层(13)的叠加,以便在第一层半导体材料和第二层半导体材料之间的界面附近形成电子气层(14);‑传导电极的第一金属接触部和第二金属接触部(21、22),其相对于所述电子气层垂直地形成在所述第二层半导体材料(13)上;其特征在于:‑所述第一金属接触部和第二金属接触部中的至少一个具有接触长度L,使得L≤1.5*√(ρc/R2Deg);其中,ρc是在425K温度下所述金属接触部与所述电子气层的电阻率,其中,R2Deg是所述电子气层在425K温度下的方块电阻。
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