[发明专利]研磨组合物有效
| 申请号： | 201780083133.1 | 申请日： | 2017-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN110177852B | 公开（公告）日： | 2021-12-14 |
| 发明（设计）人： | 小松通郎;岩崎幸博;西田广泰;俵迫祐二;中山和洋 | 申请（专利权）人： | 日挥触媒化成株式会社 |
| 主分类号： | C09K3/14 | 分类号： | C09K3/14;B24B37/00;C01B33/18;C01F17/235;C01F17/10;C08B15/04;C08J5/14;C09G1/02;H01L21/304 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 杨宏军 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的课题为提供研磨组合物，通过针对形成有二氧化硅等覆膜的衬底使用不产生缺陷的磨粒而增加机械性摩擦效果，从而能够以高速进行研磨，同时能够实现低擦伤等高面精度。解决手段为研磨组合物，其包含磨粒、纤维素单元的C6位的羟基的至少一部分被氧化为羧基而得到的改性微纤维纤维素、以及分散介质，并且Na及K的各含量相对于固态成分重量而言为100ppm以下。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 组合 | ||
【主权项】：
1.研磨组合物，其特征在于，包含：磨粒、纤维素单元具有羧基的改性微纤维纤维素、和分散介质。
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