[发明专利]减少准分子光源中的散斑有效
| 申请号： | 201780083474.9 | 申请日： | 2017-12-04 |
| 公开（公告）号： | CN110178087B | 公开（公告）日： | 2021-09-17 |
| 发明（设计）人： | T·P·达菲;F·埃弗茨;B·E·金;J·J·索内斯;W·P·E·M·奥普特鲁特;H·P·戈德弗里德 | 申请（专利权）人： | 西默有限公司;ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 王茂华;傅远 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种方法包括：产生由具有深紫外范围中的波长的脉冲构成的光束，每个脉冲具有由第一时间相干长度定义的第一时间相干性，并且每个脉冲由脉冲持续时间定义；对于一个或多个脉冲，在脉冲的脉冲持续时间上调制光学相位以产生具有由第二时间相干长度定义的第二时间相干性的修改的脉冲，该第二时间相干长度小于脉冲的第一时间相干长度；至少从修改的脉冲形成脉冲光束；并且将形成的脉冲光束朝向光刻曝光设备内的衬底引导。 | ||
| 搜索关键词： | 减少 分子 光源 中的 | ||
【主权项】：
1.一种方法，包括：产生由具有深紫外范围中的波长的脉冲构成的光束，每个脉冲具有由第一时间相干长度定义的第一时间相干性，并且每个脉冲由脉冲持续时间定义；对于一个或多个脉冲，在所述脉冲的所述脉冲持续时间上调制光学相位以产生具有由第二时间相干长度定义的第二时间相干性的修改的脉冲，所述第二时间相干长度小于所述脉冲的所述第一时间相干长度；至少从所述修改的脉冲形成脉冲光束；以及将所形成的脉冲光束朝向光刻曝光设备内的衬底引导。
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