[发明专利]用于制造具有与载体机械脱耦的区域的衬底的方法，用于制造至少一个弹簧和衬底的方法

摘要

本发明公开了一种用于制造具有与载体机械脱耦的区域的衬底的方法，所述区域具有掷筛一个在其上布置的构件，其中，至少一个凹槽在衬底的正面被引入，蚀刻图案在衬底的背面被准备并且被这样各向异性的蚀刻，使得在衬底的背面上产生垂直通道并且随后在衬底的背面上引入空腔，其中，衬底正面上的至少一个凹槽与衬底背面上的空腔连接并且至少两个凹槽或凹槽的至少两个区段在衬底正面与空腔之间的至少一个区域中通过至少一个蚀空部相互连接。

主权项

1.用于制造具有与载体(2)机械脱耦的区域(4)的衬底(1)的方法，该区域具有布置在所述区域(4)上的至少一个构件(6)，所述方法具有以下步骤：‑在所述衬底(1)的正面(10)上引入至少一个凹槽(12、14)，‑在所述衬底(1)的背面(20)上产生蚀刻图案(24)，‑通过在所述衬底(1)的所述背面(20)上对所述蚀刻图案的各向异性蚀刻产生垂直通道，‑通过在所述衬底(1)的所述背面(20)上对所述蚀刻图案的各向同性蚀刻在所述衬底(1)中产生空腔(22)，其特征在于，使所述衬底(1)的所述正面上的所述至少一个凹槽(12、14)与所述衬底(1)的所述背面(20)上的所述空腔(22)连接，并且使至少两个凹槽(12、14)或一个凹槽(12、14)的至少两个区段在所述衬底(1)的所述正面(10)和所述空腔(22)之间的至少一个区域中通过至少一个蚀空部(26)相互连接，从而产生在所述至少两个凹槽(12、14)或一个凹槽(12、14)的所述至少两个区段之间布置的至少一个弹簧(8、9)，该弹簧通过所述至少一个蚀空部(26)根据该蚀空部的垂直延展部被划分为至少两个弹簧区段(8、9)。