[发明专利]位置偏移量获取装置、检查装置、位置偏移量获取方法及检查方法有效
| 申请号： | 201780083841.5 | 申请日： | 2017-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN110199173B | 公开（公告）日： | 2021-08-06 |
| 发明（设计）人： | 里见一哉;赤木佑司;井上学 | 申请（专利权）人： | 株式会社斯库林集团 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00;G01N21/956;G06T7/00;G06T7/33;H05K3/00 |
| 代理公司： | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 宋晓宝;陈林 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 在位置偏移量获取装置(41)的图像分割部(411)中，分割两个图像中的一个图像来获取分割区域组。适应性区域确定部(412)求出各分割区域相对于获取两个图像间的位置偏移量的偏移量获取处理的适应度，根据分割区域组确定出适于偏移量获取处理的多个适应性区域。位置偏移量获取部(413)在各适应性区域中，进行两个图像间的偏移量获取处理，从而获取该适应性区域的位置偏移量。位置偏移量计算部(414)对于分割区域组中不包含于多个适应性区域的非适应性区域，根据多个适应性区域的位置偏移量、及该非适应性区域与多个适应性区域的位置关系，来求出位置偏移量。由此，可精度良好地求出两个图像中各分割区域的位置偏移量。 | ||
| 搜索关键词： | 位置 偏移 获取 装置 检查 方法 | ||
【主权项】：
1.一种位置偏移量获取装置，其中，具备：图像分割部，其分割两个图像中的一个图像来获取分割区域组；适应性区域确定部，其求出各分割区域相对于获取所述两个图像间的位置偏移量的偏移量获取处理的适应度，从所述分割区域组确定出适于所述偏移量获取处理的多个适应性区域；位置偏移量获取部，其在各适应性区域中，进行所述两个图像间的所述偏移量获取处理，从而获取所述各适应性区域的位置偏移量；以及位置偏移量计算部，其对于所述分割区域组中不包含于所述多个适应性区域的非适应性区域，根据所述多个适应性区域的位置偏移量、及所述非适应性区域与所述多个适应性区域的位置关系，来求出位置偏移量。
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