[发明专利]观察装置及观察方法在审

专利信息
申请号: 201780083962.X 申请日: 2017-10-12
公开(公告)号: CN110192101A 公开(公告)日: 2019-08-30
发明(设计)人: 高桥聪;松田俊辅;宫下贵行;三轮光春 申请(专利权)人: 浜松光子学株式会社
主分类号: G01N21/64 分类号: G01N21/64;A61B10/00;G01N21/27;G02B21/00
代理公司: 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 代理人: 杨琦
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 观察装置(1)是观察观察对象(S)的观察装置,具备:照射用光源(2),其产生照射光(L1);投影用光源(3),其产生投影光(L2);扫描镜(10),其朝向观察对象(S)以同一光路扫描照射光(L1)与投影光(L2);导光光学系统(G),其不经由扫描镜(10)而将对应于照射光(L1)的照射而在观察对象(S)产生的被检测光(L3)进行导光;光检测器(5),其检测由导光光学系统(G)导光的被检测光(L3);及控制部(6),其基于被检测光(L3)的检测结果而控制投影光(L2)的强度。
搜索关键词: 观察对象 观察装置 检测光 投影光 照射光 导光光学系统 扫描镜 导光 光源 照射 光检测器 检测结果 同一光路 观察 投影 扫描 检测
【主权项】:
1.一种观察装置,其特征在于,是观察观察对象的观察装置,具备:第1光源,其产生照射光;第2光源,其产生投影光;光扫描元件,其朝向所述观察对象以同一光路扫描所述照射光与所述投影光;导光光学系统,其不经由所述光扫描元件而将对应于所述照射光的照射而在所述观察对象产生的被检测光进行导光;光检测器,其检测由所述导光光学系统导光的所述被检测光;及控制部,其基于所述被检测光的检测结果而控制所述投影光的强度。
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