[发明专利]两级液封式真空泵以及液封式真空泵有效
| 申请号： | 201780084217.7 | 申请日： | 2017-12-08 |
| 公开（公告）号： | CN110199125B | 公开（公告）日： | 2022-02-01 |
| 发明（设计）人： | 川崎裕之;佐佐木望 | 申请（专利权）人： | 株式会社荏原制作所 |
| 主分类号： | F04C25/02 | 分类号： | F04C25/02;F04C19/00 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 陈伟;孙明轩 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及在电机的主轴(旋转轴)的轴端部安装有两级叶轮(impeller)的两级液封式真空泵。该两级液封式真空泵将设于第一级泵室(1)内的第一级叶轮(4)和设于第二级泵室(2)内的第二级叶轮(5)固定于相同的旋转轴(7)，并将第一级泵室(1)的排气口(Pd)和第二级泵室(2)的吸气口(Ps)连通，其中，将第一级叶轮(4)的外径设得比第二级叶轮(5)的外径大。 | ||
| 搜索关键词： | 两级 液封式 真空泵 以及 | ||
【主权项】：
1.一种两级液封式真空泵，其将设于第一级泵室内的第一级叶轮和设于第二级泵室内的第二级叶轮固定于相同的旋转轴，并将第一级泵室的排气口与第二级泵室的吸气口连通，该两级液封式真空泵的特征在于，将所述第一级叶轮的外径设得比所述第二级叶轮的外径大。
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