[发明专利]用于化学成像原子力显微镜红外光谱法的方法和装置

摘要

用于从纳米级到毫米级进行光谱法的方法和装置以及成像技术，包括原子力显微镜、红外光谱法、共焦显微镜、拉曼光谱法和质谱法。对于红外光谱法，用红外光照射样品，并用聚焦的UV/可见光束和/或AFM尖端读出所得的样品变形。两种技术的结合提供了使用UV/可见光的快速和大面积测量扫描以及使用AFM尖端的高分辨率测量。该方法和装置还包括通过拉曼光谱仪分析从样品反射/散射的光的能力，用于通过拉曼光谱法进行补充分析。

主权项

1.一种用亚微米级红外辐射快速表征样品的装置，所述装置包括：红外辐射源，其配置为用红外辐射光束来照射样品以产生红外照射区域；紫外‑可见(UV‑vis)辐射源，其配置为用UV‑vis光束照射样品的所述红外照射区域的至少一个区域；收集器，其配置为收集至少一部分UV‑vis光作为收集的光，所述UV‑vis光是从所述样品散射、折射和反射中的至少一种；接收器，其配置为分析所述收集的光，作为所述红外照射区域的区域的红外吸收的指示；扫描仪，其配置为在所述样品与红外光束和UV‑vis光束中的至少一个之间产生相对运动，以测量所述样品在包括所述样品上的多个位置的扫描区域上的红外吸收；以及原子力显微镜子系统，其配置为测量悬臂探针在所述扫描区域的至少一部分上的响应。