[发明专利]带电粒子线装置有效
| 申请号： | 201780084642.6 | 申请日： | 2017-02-13 |
| 公开（公告）号： | CN110337707B | 公开（公告）日： | 2021-09-28 |
| 发明（设计）人： | 吉原真衣;大南祐介 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立高新技术 |
| 主分类号： | H01J37/22 | 分类号： | H01J37/22;H01J37/20 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 张敬强;金成哲 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的目的在于提供一种不使机箱尺寸大型化地用带电粒子线装置和摄像机观察同一视野的装置。本发明的一方案的带电粒子线装置具备向试样(7)照射带电粒子线的镜筒(2)、拍摄试样的光学图像的摄像部(43)、载置试样的试样台(30)、载置试样台且能移动的载物台(6)，构成为，若将试样台的物理性的中心轴与摄像部的物理性的光轴之间的距离定义为第一距离、将试样台的假想性的中心轴与摄像部的物理性的中心轴、或试样台的物理性的中心轴与摄像部的假想性的中心轴、或试样台的假想性的中心轴与摄像部的假想性的中心轴之间的距离定义为第二距离，则第二距离比第一距离短。 | ||
| 搜索关键词： | 带电 粒子 线装 | ||
【主权项】：
1.一种带电粒子线装置，其特征在于，具备：向试样照射带电粒子线的镜筒；拍摄上述试样的光学图像的摄像部；载置上述试样的试样台；以及载置上述试样台且能移动的载物台，构成为，若将上述试样台的物理性的中心轴与上述摄像部的物理性的光轴之间的距离定义为第一距离、将上述试样台的假想性的中心轴与上述摄像部的物理性的中心轴、或上述试样台的物理性的中心轴与上述摄像部的假想性的中心轴、或上述试样台的假想性的中心轴与上述摄像部的假想性的中心轴之间的距离定义为第二距离，则上述第二距离比上述第一距离短。
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