[发明专利]描绘装置及描绘方法有效
| 申请号： | 201780085286.X | 申请日： | 2017-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN110249266B | 公开（公告）日： | 2021-08-27 |
| 发明（设计）人： | 长尾竜也;乘光良直;中井一博;北村清志 | 申请（专利权）人： | 株式会社斯库林集团 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H05K3/00 |
| 代理公司： | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 宋晓宝;陈林 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 描绘装置(1)的光调制部(46)对来自光源(43)的光进行调制。扫描机构(2)在基板(9)上扫描通过光调制部(46)而调制的光。控制部(6)根据描绘数据控制光调制部(46)及扫描机构(2)，以执行对基板(9)的描绘。控制部(6)具备存储部及数据生成部。关于显示基板(9)的来自基准状态的伸缩程度的多个伸缩率，存储部预先存储对以各伸缩率伸缩的基板(9)进行描绘的情况的图像的行程长度数据(run‑length data)而作为多个初始描绘数据。数据生成部利用选择描绘数据生成所述描绘数据，该选择描绘数据是根据基板(9)的实际伸缩率而自多个初始描绘数据中选出的一个初始描绘数据。由此，可迅速且精度良好地对产生伸缩的基板(9)进行描绘。 | ||
| 搜索关键词： | 描绘 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种描绘装置，在对象物上描绘图像，其具备：光源；光调制部，其对来自所述光源的光进行调制；扫描机构，其在对象物上扫描通过所述光调制部调制的光；以及控制部，其根据描绘数据控制所述光调制部及所述扫描机构，从而执行对所述对象物的描绘，所述控制部具备：存储部，其针对表示所述对象物从基准状态的伸缩程度的多个伸缩率，预先存储对以各伸缩率伸缩的所述对象物进行描绘时的图像的行程长度数据，作为多个初始描绘数据；以及数据生成部，其利用选择描绘数据生成所述描绘数据，该选择描绘数据是根据所述对象物的实际伸缩率从所述多个初始描绘数据中选出的一个初始描绘数据。
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