[发明专利]弹性波装置、高频前端电路以及通信装置在审
| 申请号： | 201780085778.9 | 申请日： | 2017-11-14 |
| 公开（公告）号： | CN110268629A | 公开（公告）日： | 2019-09-20 |
| 发明（设计）人： | 山根毅 | 申请（专利权）人： | 株式会社村田制作所 |
| 主分类号： | H03H9/145 | 分类号： | H03H9/145;H03H9/25;H03H9/64 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 赵琳琳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 提供一种虽然具有由电极指间距决定的波长不同的多个IDT电极但至少能在两个IDT电极间减小温度特性之差的弹性波装置。在所传播的体波的声速与在压电薄膜(5)传播的弹性波的声速相比为高速的高声速构件直接或间接地层叠有压电薄膜(5)。在压电薄膜(5)上层叠有氧化硅膜(6)，在氧化硅膜(6)上层叠有多个IDT电极(11、12)，多个IDT电极(11、12)具有由电极指间距决定的波长不同的多个IDT电极(11、12)。弹性波装置(1)在将多个IDT电极(11、12)中波长最短的IDT电极的波长设为λ，将压电薄膜(5)的相对于波长λ的比例即波长标准化膜厚(％)设为y，将氧化硅膜(6)的相对于波长λ的比例即波长标准化膜厚(％)设为x的情况下，y为350％以下，且y＜1.6x(‑0.01)+0.05x(‑0.6)‑1。 | ||
| 搜索关键词： | 波长 压电薄膜 弹性波装置 氧化硅膜 标准化膜厚 电极指 上层 前端电路 通信装置 温度特性 弹性波 传播 减小 体波 | ||
【主权项】：
1.一种弹性波装置，具备：高声速构件；压电薄膜，直接或间接地层叠在所述高声速构件上；氧化硅膜，层叠在所述压电薄膜上；和多个IDT电极，层叠在所述氧化硅膜上，在所述高声速构件传播的体波的声速比在所述压电薄膜传播的弹性波的声速高，所述多个IDT电极具有由电极指间距决定的波长不同的多个IDT电极，在将所述多个IDT电极之中所述波长最短的IDT电极的波长设为λ，将所述压电薄膜的相对于所述波长λ的比例即波长标准化膜厚(％)设为y，将所述氧化硅膜的相对于所述波长λ的比例即波长标准化膜厚(％)设为x的情况下，y为350％以下，并且y＜1.6x(‑0.01)+0.05x(‑0.6)‑1。
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