[发明专利]致动光刻设备的致动单元的控制装置、具有控制装置的光刻设备及操作控制装置的方法有效
| 申请号： | 201780086115.9 | 申请日： | 2017-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN110291463B | 公开（公告）日： | 2021-11-16 |
| 发明（设计）人： | S.克朗;L.伯杰;R.基塞尔;P.威杰拉尔斯 | 申请（专利权）人： | 卡尔蔡司SMT有限责任公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H03K7/08;G02B7/182;H01L41/04;H01L41/09 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 王蕊瑞 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本发明涉及一种控制装置(10)，用于致动致动器单元(11)以设定光刻设备(100A、100B)的光学元件(20)的位置(P)，所述控制装置具有：放大器单元(30)，通过电压信号(41)和PWM信号(42)提供致动器单元(11)的控制信号(40)，其中PWM信号(42)具有占空比(43)和时钟频率(51)；以及调制器单元(50)，设计为提供具有占空比(43)和来自多个限定的时钟频率(52)的限定的时钟频率(51)的PWM信号(42)，其中多个限定的时钟频率(52)中的限定的时钟频率(51)是基本时钟频率(f |
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| 搜索关键词： | 光刻 设备 单元 控制 装置 具有 操作 方法 | ||
【主权项】：
1.一种控制装置(10)，致动致动器单元(11)，该致动器单元设定光刻设备(100A、100B)的光学元件(20)的位置(P)，所述控制装置包括：放大器单元(30)，通过电压信号(41)和PWM信号(42)提供所述致动器单元(11)的控制信号(40)，其中所述PWM信号(42)具有占空比(43)和时钟频率(51)，以及调制器单元(50)，配置为将来自多个限定的时钟频率(52)中的限定的时钟频率(51)提供给具有所述占空比(43)的PWM信号(42)，其中所述多个限定的时钟频率(52)中的相应的限定的时钟频率(51)是基本时钟频率(f0)的整数倍，其中所述基本时钟频率(f0)是在10kHz‑1MHz的范围中并且所述整数倍限定为乘以因子n。
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