[发明专利]三维测量装置

摘要

提供一种能够抑制三维测量中的测量精度的降低的三维测量装置。基板检查装置(1)包括：对印刷基板(2)投影条纹图案的投影装置(4)；对印刷基板(2)上的被投影了条纹图案的部分进行拍摄的相机(5)；以及实施基板检查装置(1)内的各种控制的控制装置(6)。投影装置(4)包括发出预定的光的光源(4a)、将来自该光源(4a)的光变换为条纹图案的DMD(4b)等，并每单位时间以预定帧数将条纹图案投影到印刷基板(2)上。控制装置(6)在预定数量帧的条纹图案投影期间的前后设定能够投影预定的全黑图案的一帧的全黑图案投影期间，在条纹图案投影期间前的全黑图案投影期间中开始相机(5)的拍摄处理，在条纹图案投影期间后的全黑图案投影期间中结束相机(5)的拍摄处理。

主权项

1.一种三维测量装置，其特征在于，包括：投影单元，具有发出预定光的光源以及能够将来自该光源的光变换为预定的条纹图案的反射型光调制元件，并且每单位时间能够以预定帧数将所述条纹图案投影到被测量物上；拍摄单元，能够对至少投影有所述条纹图案的所述被测量物进行拍摄；图像获取单元，控制所述投影单元和所述拍摄单元，依次投影并拍摄多组条纹图案，由此能够获取光强度分布不同的多个图像数据；以及图像处理单元，能够基于由所述图像获取单元获取的多个图像数据来执行所述被测量物的三维测量，所述反射型光调制元件具有多个像素被二维排列的结构，所述多个像素能够在第一状态和与所述第一状态不同的第二状态中择一地切换，所述第一状态是使从所述光源入射的光以能够向所述被测量物投射的方式反射的状态，并且，被构成为能够通过使每个所述像素的一帧期间中的处于所述第一状态的比例变化，来生成所述条纹图案，所述图像获取单元被构成为在获取所述多个图像数据中的一个图像数据的基础上，能够在预定期间内执行连续进行拍摄的拍摄处理，所述预定期间至少包含所述多组条纹图案中的一组条纹图案涉及的预定数量帧的条纹图案投影期间，在所述预定数量帧的条纹图案投影期间的前后，设定能够投影预定的全黑图案的至少一帧的全黑图案投影期间，在所述预定数量帧的条纹图案投影期间前的所述全黑图案投影期间中开始所述拍摄处理，并且在所述预定数量帧的条纹图案投影期间后的所述全黑图案投影期间中结束所述拍摄处理。