[发明专利]对基板作业装置及图像处理方法

摘要

对基板作业装置具备：拍摄装置，拍摄基板；存储装置，存储各种信息；及图像处理装置，在对多个基板进行预定作业的情况下，对于最前基板执行最前基板用处理，对于除了最前基板以外的后续基板执行后续基板用处理，其中，上述最前基板用处理是对于由拍摄装置拍摄最前基板而得到的拍摄图像进行用于检测预定作业所需要的预定的检测对象的图像处理，并且取得与检测对象的检测所需要的拍摄图像内的区域相关的区域信息并存储于存储装置的处理，上述后续基板用处理是在由拍摄装置拍摄后续基板而得到的拍摄图像中基于区域信息设定局部的处理区域并对设定的处理区域进行图像处理的处理。

主权项

1.一种对基板作业装置，其特征在于，具备：拍摄装置，拍摄基板；存储装置，存储各种信息；及图像处理装置，对于作为预定作业的对象的多个所述基板中的最前的基板执行最前基板用处理，对于作为所述预定作业的对象的多个所述基板中的除了所述最前基板以外的后续的基板执行后续基板用处理，其中，所述最前基板用处理是对通过所述拍摄装置拍摄所述最前的基板而得到的最前图像进行用于检测所述预定作业所需要的预定的检测对象的图像处理，并且取得与检测出了所述检测对象的所述最前图像内的区域相关的区域信息并存储于所述存储装置的处理；所述后续基板用处理是在通过所述拍摄装置拍摄所述后续的基板而得到的后续图像中基于存储于所述存储装置的所述区域信息来设定局部的处理区域，并对所设定的所述处理区域进行所述图像处理的处理。