[发明专利]光学布置、特别是光刻系统有效
| 申请号： | 201780087714.2 | 申请日： | 2017-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN110383174B | 公开（公告）日： | 2022-05-31 |
| 发明（设计）人： | B.盖尔里希;R.兹韦林;C.塞维奥尔;M.埃拉思;J.普罗希瑙;M.内夫齐;V.库利茨基;A.洛伦兹;S.沙夫 | 申请（专利权）人： | 卡尔蔡司SMT有限责任公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G02B26/08;G02B5/08;G02B7/00;G02B7/182;G02B7/198;G03B27/42;G21K1/06 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 王蕊瑞 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及光学布置，特别是光刻系统(1)，其包括：特别是反射镜(3)的可移动部件，移动部件(3)的至少一个致动器(4)，以及具有限制部件(3)的移动的邻接表面(12)的至少一个邻接件(6)。光学布置包括在邻接件(6)上或多个邻接件上，以在相同移动方向(+X、‑X、‑Y、+Y)上限制可移动部件(3)的移动的至少两个邻接表面，该邻接表面特别是配备为施加于可移动部件(3)的相同侧，和/或光学布置包括相对于可移动部件(3)移动邻接件(6)的至少一个其他致动器(9)以及确定邻接件(6)的邻接表面(12)和可移动部件(3)之间的距离(A)的至少一个距离传感器(13)。光学布置还可以包括反射镜(3)形式的减少重量的可移动部件。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 布置 特别是 光刻 系统 | ||
【主权项】：
1.一种光学布置，特别是光刻系统(1)，包括：可移动部件，特别是反射镜(3)，至少一个致动器(4)，移动所述部件(3)，以及至少一个止挡件(6)，具有限制所述部件的移动的止挡面(12)，其特征在于，在同一个移动方向(+X、‑X、‑Y、+Y)上限制所述可移动部件(3)的移动的至少两个止挡面(12a，b；12c‑h)形成在止挡件(6)上或多个止挡件(6a，b；6c‑h)上，其中所述止挡面(12a，b；12c‑h)特别是配备为邻接抵靠所述可移动部件(3)的相同侧(3a，b；3c，d)。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于卡尔蔡司SMT有限责任公司，未经卡尔蔡司SMT有限责任公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201780087714.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
