[发明专利]电控反射镜及其制造方法、电扫描器、激光加工机有效
| 申请号： | 201780088522.3 | 申请日： | 2017-04-12 |
| 公开（公告）号： | CN110494789B | 公开（公告）日： | 2021-07-06 |
| 发明（设计）人： | 久米将实;熊田辉彦;伊藤洋平;小林广纪 | 申请（专利权）人： | 三菱电机株式会社 |
| 主分类号： | G02B26/10 | 分类号： | G02B26/10;B23K26/082;B41J2/47;G02B5/08;G02B26/08;H04N1/113 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 何立波;张天舒 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 电控反射镜(10)具有：具有镜面的镜面部(10A)和与镜面的背面侧接合的背面增强部(12)，通过单晶SiC晶片构成镜面部(10A)，通过C/SiC材料形成背面增强部(12)。由此，提高镜面部的刚性，并且减薄镜面部，使镜面部的背面增强部轻量化。由此，得到提高电控反射镜的共振频率、即使使其高速移动也高精度且难以歪斜的电控反射镜。 | ||
| 搜索关键词： | 反射 及其 制造 方法 扫描器 激光 加工 | ||
【主权项】：
1.一种电控反射镜，其具有：/n镜面部，其具有镜面；/n背面增强部，其与所述镜面的背面侧接合，/n所述镜面部由单晶晶片构成。/n
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