[发明专利]电荷粒子线装置和电荷粒子线装置的条件设定方法有效
| 申请号： | 201780089056.0 | 申请日： | 2017-04-21 |
| 公开（公告）号： | CN110770875B | 公开（公告）日： | 2022-04-12 |
| 发明（设计）人： | 沼田由起;佐藤博文;川俣茂 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立高新技术 |
| 主分类号： | H01J37/28 | 分类号： | H01J37/28;H01J37/22;H01J37/24 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 曾贤伟;范胜杰 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的电荷粒子线装置对操作者的观察条件设定进行辅助，使得能够不局限于基于操作者的经验的试错地，通过电荷粒子线装置获取希望的画质(对比度等)的图像。为此，是一种电荷粒子线装置，其具备：试料(115)台，其载置试料；电荷粒子光学系统，其向试料照射电荷粒子束；检测器(121、122)，其检测由于电荷粒子束与试料的相互作用而产生的电子；控制部(103)，其根据由操作者设定的观察条件控制试料台和电荷粒子光学系统，根据来自检测器的检测信号形成图像；显示器(104)，其显示用于设定观察条件的观察辅助画面，其中，控制部将与在观察条件下通过电荷粒子光学系统照射到试料的每个像素的照射电子量有关的信息(510)显示到观察辅助画面(401)。 | ||
| 搜索关键词： | 电荷 粒子 线装 条件 设定 方法 | ||
【主权项】：
1.一种电荷粒子线装置，其特征在于，/n上述电荷粒子线装置具备：/n试料台，其载置试料；/n电荷粒子光学系统，其向上述试料照射电荷粒子束；/n检测器，其检测因上述电荷粒子束与上述试料的相互作用而产生的电子；/n控制部，其根据由操作者设定的观察条件来控制上述试料台和上述电荷粒子光学系统，并根据来自上述检测器的检测信号来形成图像；以及/n显示器，其显示用于设定上述观察条件的观察辅助画面，/n上述控制部将与在上述观察条件下通过上述电荷粒子光学系统照射到上述试料的每个像素的照射电子量有关的信息显示于上述观察辅助画面。/n
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