[发明专利]排气装置在审
| 申请号： | 201780089140.2 | 申请日： | 2017-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN110462266A | 公开（公告）日： | 2019-11-15 |
| 发明（设计）人： | 雷强;贾社娜;王晖 | 申请（专利权）人： | 盛美半导体设备(上海)有限公司 |
| 主分类号： | F16K11/085 | 分类号： | F16K11/085 |
| 代理公司： | 31100 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 陆嘉<国际申请>=PCT/CN2017/ |
| 地址： | 201203上海市浦东新*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明揭示了一种用于多种气体分离排气的排气装置。排气装置(100)包括外管(102)、内管(103)和致动器(104)。外管(102)包括管体(1021)。管体(1021)的侧壁设有多个排气口(1022)。内管(103)容纳在外管(102)的管体(1021)内。内管(103)的一端是开口的，内管(103)的另一端是封闭的。内管(103)的侧壁设有一个通孔(1033)或多个通孔(1033)。致动器(104)被配置为驱动内管(103)在外管(102)的管体(1021)内旋转以使内管(103)的通孔(1033)对上外管(102)的一个排气口(1022)以排出一种气体，与此同时外管(102)的其他排气口(1022)由内管(103)的侧壁封闭。 | ||
| 搜索关键词： | 内管 外管 管体 排气口 侧壁 通孔 排气装置 致动器 气体分离 内旋转 封闭 排出 排气 开口 容纳 驱动 配置 | ||
【主权项】：
1.一种排气装置，其特征在于，包括：/n外管，包括管体，管体的侧壁设有多个排气口；/n内管，容纳在外管的管体内，内管的一端是开口的，内管的另一端是封闭的，内管的侧壁设有通孔；以及/n致动器，被配置为驱动内管在外管的管体内旋转以使内管的通孔对上外管的一个排气口以排放一种气体，与此同时外管的其他排气口则由内管的侧壁封闭。/n
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