[发明专利]基板清洗装置有效
| 申请号： | 201780089141.7 | 申请日： | 2017-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN110461484B | 公开（公告）日： | 2022-12-27 |
| 发明（设计）人： | 王晖;吴均;程成;王希;初振明 | 申请（专利权）人： | 盛美半导体设备(上海)股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B1/04 | 分类号： | B08B1/04;B08B3/02;B08B7/04;H01L21/304 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 陆嘉 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明揭示了一种基板清洗装置，包括卡盘组件、至少一个第一喷嘴(107,207)、以及超声波或兆声波装置(206,306)。所述卡盘组件被配置为接收和夹紧基板。所述至少一个第一喷嘴(107,207)被配置为将液体喷射到基板的顶表面。所述超声波或兆声波装置(206,306)被配置为设置在基板顶表面的上方用于向基板提供超声波或兆声波清洗。在超声波或兆声波装置(206,306)和基板的顶表面之间形成有间隙，该间隙充分且持续地充满液体，因此超声波或兆声波装置(206,306)的整个底部在清洗过程中始终充满液体。 | ||
| 搜索关键词： | 清洗 装置 | ||
【主权项】：
1.一种基板清洗装置，其特征在于，包括：/n卡盘组件，接收和夹紧基板；/n至少一个第一喷嘴，喷射液体到基板的顶表面；以及/n超声波或兆声波装置，设置在基板顶表面的上方以向基板提供超声波或兆声波清洗，超声波或兆声波装置和基板的顶表面之间形成有间隙，该间隙充分且持续地充满液体，因此在清洗过程中超声波或兆声波装置的整个底部始终充满液体。/n
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于盛美半导体设备(上海)股份有限公司，未经盛美半导体设备(上海)股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201780089141.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
