[发明专利]信息处理装置有效
申请号: | 201780089361.X | 申请日: | 2017-04-04 |
公开(公告)号: | CN110476486B | 公开(公告)日: | 2022-03-08 |
发明(设计)人: | 神藤高广;泷川慎二;丹羽阳大 | 申请(专利权)人: | 株式会社富士 |
主分类号: | H05H1/00 | 分类号: | H05H1/00;H05H1/24 |
代理公司: | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人: | 杨青;安翔 |
地址: | 日本爱知*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供一种信息处理装置,所述信息处理装置具备控制装置,该控制装置具有:取得部,按时间顺序取得向通过多个电极间的放电而产生等离子体的等离子体产生装置的所述多个电极供给的电流或者电压的指标值;运算部,基于由所述取得部取得的所述指标值,运算与所述指标值的变化相关的数值即变化值;存储部,存储预定的时机下由所述运算部运算出的所述变化值而作为特定变化值;第一判断部,每当通过所述运算部来运算所述变化值时,基于该变化值和所述特定变化值,判断运算该变化值时的电力供给状态是否成为所述预定的时机下的电力供给状态;及报告部,在由所述第一判断部判断为运算所述变化值时的电力供给状态成为所述预定的时机下的电力供给状态的情况下,报告预定的信息。 | ||
搜索关键词: | 信息处理 装置 | ||
【主权项】:
1.一种信息处理装置,具备控制装置,/n所述控制装置具有:/n取得部,按时间顺序取得表示向等离子体产生装置的多个电极供给的电流或者电压的指标值,所述等离子体产生装置通过所述多个电极间的放电而产生等离子体;/n运算部,基于由所述取得部取得的所述指标值,运算与所述指标值的变化相关的数值即变化值;/n存储部,存储预定的时机下由所述运算部运算出的所述变化值而作为特定变化值;/n第一判断部,每当通过所述运算部运算所述变化值时,基于该变化值和所述特定变化值,判断运算该变化值时的电力供给状态是否为所述预定的时机下的电力供给状态;及/n报告部,在由所述第一判断部判断为运算所述变化值时的电力供给状态为所述预定的时机下的电力供给状态的情况下,报告预定的信息。/n
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