[发明专利]正型感光性树脂组合物、正型感光性树脂用热交联剂、图案固化膜及其制造方法、半导体元件以及电子设备有效
| 申请号： | 201780090330.6 | 申请日： | 2017-05-10 |
| 公开（公告）号： | CN110582726B | 公开（公告）日： | 2023-08-04 |
| 发明（设计）人： | 青木优;桥本政弘 | 申请（专利权）人： | 株式会社力森诺科 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/023 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 白丽 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本发明公开一种正型感光性树脂组合物，其含有：(A)碱可溶性树脂；(B)下述通式(1)所示的化合物或下述通式(2)所示的化合物；以及(C)具有2个以上环氧基的化合物。通式(1)中，R |
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| 搜索关键词： | 感光性 树脂 组合 交联剂 图案 固化 及其 制造 方法 半导体 元件 以及 电子设备 | ||
【主权项】：
1.一种正型感光性树脂组合物，其含有：/n(A)碱可溶性树脂；/n(B)下述通式(1)所示的化合物或下述通式(2)所示的化合物；以及/n(C)具有2个以上环氧基的化合物，/n[化学式编号1]/n
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