[发明专利]离子检测装置及质谱分析装置

摘要

离子检测器(4)在孔板(41)与转换打拿极(43)之间具备屏蔽电极(42)。屏蔽电极(42)具有位于四极杆滤质器(3)的中心轴(C)的延长线(C')上的直行粒子阻挡壁(42a)、以及相对于该延长线(C')倾斜规定角度θ(锐角)的离子诱导电场调整壁(42b)，在离子诱导电场调整壁形成有离子通过开口(42c)。从四极杆滤质器(3)出来的中性粒子等直行粒子被直行粒子阻挡壁(42a)阻断，因此由直行粒子引起的噪音降低。另一方面，离子诱导电场调整壁(42b)的电位被设为与由转换打拿极(43)形成的强电场的等电位面相应的电位，因此，强电场的状态与没有屏蔽电极(42)的情况相比变化不大。由此，发挥强电场对离子的引入作用，能够维持高的离子检测效率。

主权项

1.一种离子检测装置，其对通过离子分离部而来的离子或从该离子分离部放出的离子进行检测，所述离子分离部将离子根据质量或迁移率进行分离，所述离子检测装置的特征在于，具备：/na)转换打拿极，其配置在从自所述离子分离部送出的入射离子流的中心轴的延长线上偏离的位置，将被由所述转换打拿极自身形成的电场吸引的离子转换为电子；/nb)电子检测部，其隔着所述入射离子流的中心轴的延长线而与所述转换打拿极相向地配置，将从该转换打拿极放出的电子放大来进行检测；/nc)屏蔽电极，其配置在所述入射离子流的入射位置与所述转换打拿极及所述电子检测部之间，具备：c1)阻挡壁，其位于所述入射离子流的中心轴的延长线上，阻挡粒子通过；以及c2)电场调整壁，其与该阻挡壁相连接，所述电场调整壁呈平面状、曲面状或多面状，所述电场调整壁具有用于去向所述转换打拿极的离子通过的开口，或者缺失了该离子通过的部分，其中，所述平面包括在从所述入射离子流的入射位置观察时在同时包括所述入射离子流的中心轴和所述转换打拿极的离子碰撞面的中心轴的平面上与所述入射离子流的中心轴所成的角度为锐角的直线，所述曲面包括以该直线为近似直线的曲线，所述多面与该曲面近似；以及/nd)电压施加部，其对所述屏蔽电极施加规定的直流电压。/n