[发明专利]对基板作业系统

摘要

标记配置部件(80、82)配置有具有被设定了的相互位置关系的多个标记并跨供第一作业头(28a)移动的第一作业区域(R1)和供第二作业头(28b)移动的第二作业区域(R2)而设置，在对以跨上述两个区域的状态被保持的一个基板(SL)进行作业时，根据(i)基于与第一作业头一起移动的第一拍摄装置(66a)的拍摄数据而测定出的存在于第一区域(R1)的标记的位置和(ii)基于与第二作业头一起移动的第二拍摄装置(66b)的拍摄数据而测定出的存在于第二区域(R2)的标记的位置，对在作业中第一作业头的应通过第一头移动装置而移动的位置和第二作业头的应通过第二头移动装置而移动的位置中的至少一方进行修正。

主权项

1.一种对基板作业系统，具备：/n基板保持装置，对基板进行固定保持；/n第一作业头及第二作业头，对由该基板保持装置保持的基板进行作业；/n第一头移动装置，使所述第一作业头在第一作业区域内移动；/n第二头移动装置，使所述第二作业头在不同于所述第一作业区域的第二作业区域内移动；及/n第一拍摄装置及第二拍摄装置，所述第一拍摄装置与所述第一作业头一起通过所述第一头移动装置而移动，所述第二拍摄装置与所述第二作业头一起通过所述第二头移动装置而移动，/n所述对基板作业系统的特征在于，/n该对基板作业系统还具备标记配置部件，所述标记配置部件跨所述第一作业区域和所述第二作业区域而设置，并配置有具有被设定了的相互位置关系的多个标记，/n所述对基板作业系统构成为，在对由所述基板保持装置以跨所述第一作业区域和所述第二作业区域的状态保持的一个基板进行作业时，通过所述第一拍摄装置拍摄所述标记配置部件的存在于所述第一作业区域的一个以上的标记来测定这些存在于第一作业区域的标记的位置，并且通过所述第二拍摄装置拍摄所述标记配置部件的存在于所述第二作业区域的一个以上的标记来测定这些存在于第二作业区域的标记的位置，基于这些被测定出的存在于所述第一作业区域的标记的位置和被测定出的存在于所述第二作业区域的标记的位置，而对在作业中所述第一作业头的应通过所述第一头移动装置而移动的位置和所述第二作业头的应通过所述第二头移动装置而移动的位置中的至少一方进行修正。/n