[发明专利]用于形成电化学储能装置的部件的方法和处理系统及氧化腔室在审
| 申请号： | 201780091917.9 | 申请日： | 2017-09-20 |
| 公开（公告）号： | CN110741491A | 公开（公告）日： | 2020-01-31 |
| 发明（设计）人： | 罗兰·特拉斯尔;托尔斯滕·布鲁诺·迪特尔;苏布拉曼亚·赫尔勒;肯特·赵 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | H01M2/14 | 分类号： | H01M2/14;H01M2/16;H01M10/052 |
| 代理公司： | 11006 北京律诚同业知识产权代理有限公司 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 提供一种用于形成电化学储能装置的部件的处理系统。处理系统包括沉积模块(102)，被配置为沉积陶瓷层(52)于柔性基板(111)之上；以及氧化模块(150)，被配置为使陶瓷层(52)在升高的温度下处于氧化气氛中。 | ||
| 搜索关键词： | 处理系统 陶瓷层 沉积 电化学储能装置 柔性基板 氧化气氛 配置 升高 | ||
【主权项】：
1.一种用于形成电化学储能装置的部件的方法，包括：/n在柔性基板(111)之上沉积陶瓷层(52)；以及/n使所述陶瓷层(52)在升高的温度下处于氧化气氛。/n
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