[发明专利]用于真空腔室的热处理设备、用于沉积材料于柔性基板上的沉积设备、在真空腔室中热处理柔性基板的方法、及处理柔性基板的方法在审
| 申请号： | 201780093299.1 | 申请日： | 2017-07-21 |
| 公开（公告）号： | CN111108339A | 公开（公告）日： | 2020-05-05 |
| 发明（设计）人： | 法比奥·贝亚雷斯;格哈德·施泰尼格;霍斯特·阿尔特 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | F28F5/02 | 分类号： | F28F5/02;C23C14/56;C23C16/455;C23C16/54 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本公开内容提供一种热处理设备(100)，用于在真空腔室(101)中使用。热处理设备(100)包括传送布置，被配置为在纵向方向中施加张力至柔性基板(10)，其中传送布置包括：鼓(110)；以及加热装置，被配置为加热鼓(110)，以用于加热柔性基板(10)至120℃至180℃的第一温度。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 空腔 热处理 设备 沉积 材料 柔性 基板上 方法 处理 | ||
【主权项】：
暂无信息
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