[发明专利]表面改性装置有效
申请号: | 201780093685.0 | 申请日: | 2017-08-07 |
公开(公告)号: | CN111225944B | 公开(公告)日: | 2023-03-28 |
发明(设计)人: | 小木曾智;森下贵生;樱井行平;吉田纯也;杉村智 | 申请(专利权)人: | 春日电机股份有限公司 |
主分类号: | C08J7/00 | 分类号: | C08J7/00;B01J19/08;B29C59/14;H05H1/24 |
代理公司: | 北京德崇智捷知识产权代理有限公司 11467 | 代理人: | 乔献丽 |
地址: | 日本国神奈*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 从放电电极中直接排出气体,减少置换气体排放量的同时,还能够使气压分布均匀,以稳定地生成等离子体。放电室C内的放电电极E由多个电极构件8、9构成。并且,这些多个电极构件8、9夹持支撑构件4而相向配置,同时在这些多个电极构件8、9的相向部分形成有空隙,该空隙作为气体通道15向放电电极的前端开口。并且,从歧管3供给的置换气体经由节流孔供给到上述气体通道15中。 | ||
搜索关键词: | 表面 改性 装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
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