[发明专利]13族元素氮化物层、自立基板以及功能元件有效
| 申请号： | 201780093870.X | 申请日： | 2017-09-21 |
| 公开（公告）号： | CN111033763B | 公开（公告）日： | 2021-02-26 |
| 发明（设计）人： | 平尾崇行;中西宏和;市村干也;下平孝直;坂井正宏;吉野隆史 | 申请（专利权）人： | 日本碍子株式会社 |
| 主分类号： | H01L33/16 | 分类号： | H01L33/16;H01L33/32 |
| 代理公司： | 北京旭知行专利代理事务所(普通合伙) 11432 | 代理人： | 王轶;郑雪娜 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明在包含选自氮化镓、氮化铝、氮化铟或它们的混晶中的13族元素氮化物结晶且具有上表面及底面的13族元素氮化物结晶层的基础上，提供一种能够降低位错密度、从整体上减少特性偏差的微结构。在利用阴极发光观察13族元素氮化物结晶层13的上表面13a时，具有线状的高亮度发光部5和与高亮度发光部5相邻的低亮度发光区域6。高亮度发光部5包括沿着13族元素氮化物结晶13的m面延伸的部分。 | ||
| 搜索关键词： | 13 元素 氮化物 自立 以及 功能 元件 | ||
【主权项】：
暂无信息
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