[发明专利]带电粒子线装置以及使用其的观察方法、元素分析方法有效
| 申请号： | 201780094064.4 | 申请日： | 2017-08-24 |
| 公开（公告）号： | CN111033675B | 公开（公告）日： | 2022-07-26 |
| 发明（设计）人： | 伊藤直人;山泽雄 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立高新技术 |
| 主分类号： | H01J37/05 | 分类号： | H01J37/05;G01N23/2251;H01J37/22;H01J37/244;H01J37/28 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 柯瑞京 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 简便地实现能够进行二次带电粒子的能量辨别的带电粒子线装置。带电粒子线装置，具有：带电粒子源(2)；载置样品(15)的样品台(14)；向样品(15)照射来自带电粒子源(2)的带电粒子线(5)的物镜(13)；使向样品(15)照射带电粒子线(5)而放出的二次带电粒子(16)偏转的偏转器(17)；检测由偏转器(17)偏转的二次带电粒子的检测器(18)；对样品(15)或者样品台(14)施加正电压(V3)的样品电压控制部(19)；以及控制偏转器(17)使二次带电粒子(16)偏转的强度的偏转强度控制部(20)。 | ||
| 搜索关键词： | 带电 粒子 线装 以及 使用 观察 方法 元素 分析 | ||
【主权项】：
暂无信息
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