[发明专利]平面微波谐振器电路的微制造的空气桥在审
| 申请号： | 201780094198.6 | 申请日： | 2017-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN111066150A | 公开（公告）日： | 2020-04-24 |
| 发明（设计）人： | V·阿迪加;M·布林克 | 申请（专利权）人： | 国际商业机器公司 |
| 主分类号： | H01L29/76 | 分类号： | H01L29/76 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人： | 刘都;于静 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种用于平面微波谐振器电路的微型空气桥的制造方法，包括在基础材料表面上沉积超导膜，其中超导膜形成有压缩应力，其中压缩应力高于定义结构的临界弯曲应力，蚀刻超导膜的暴露区域，从而形成至少一个桥，蚀刻基础材料，从而在至少一个桥和基础材料之间形成间隙，在超导膜的至少一部分和基础材料的至少一部分上沉积至少一条金属线。其中，至少一条金属线在桥下面延伸。 | ||
| 搜索关键词： | 平面 微波 谐振器 电路 制造 空气 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于国际商业机器公司，未经国际商业机器公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201780094198.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：定型装置及烧结体的制造方法
- 下一篇：功率转换装置
- 同类专利
- 专利分类
