[发明专利]电荷粒子显微镜装置和广角图像生成方法有效
| 申请号： | 201780094577.5 | 申请日： | 2017-09-14 |
| 公开（公告）号： | CN111095351B | 公开（公告）日： | 2023-06-20 |
| 发明（设计）人： | 小林光俊;田中麻纪;星野吉延 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立高新技术 |
| 主分类号： | G06T5/50 | 分类号： | G06T5/50;G06T3/00;G06T7/30 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 曾贤伟;范胜杰 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明在生成的广角图像中残存局部的位置偏差时，也能够促使进行用于修正局部位置偏差的用户输入，并根据该用户输入重新生成在重叠区域的局部区域中位置偏差量也小的广角图像。电荷粒子显微镜维持相邻的拍摄图像重叠的区域即重叠区域并拍摄多张拍摄图像，图像处理部在上述重叠区域中将对应点对设定在上述相邻的拍摄图像之间，对每个上述拍摄图像设定规定的限制条件，根据上述对应点对和上述限制条件计算上述拍摄图像之间的相对位置偏差量，根据计算出的上述位置偏差量修正上述拍摄图像之间的相对位置偏差并连接起来，由此生成一张广角图像，在上述重叠区域中设定的多个局部区域中计算拍摄图像的连接的可靠度，向用户通知上述可靠度低的上述局部区域或包含上述局部区域的重叠区域、上述设定好的对应点对和上述限制条件。 | ||
| 搜索关键词： | 电荷 粒子 显微镜 装置 广角 图像 生成 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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