[发明专利]基板搬运装置、曝光装置、平板显示器的制造方法、元件制造方法、基板搬运方法以及曝光方法在审
| 申请号： | 201780095223.2 | 申请日： | 2017-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN111133383A | 公开（公告）日： | 2020-05-08 |
| 发明（设计）人： | 青木保夫 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/677 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 马爽;臧建明 |
| 地址： | 日本东京港区港南二丁目*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明为了缩短基板更换所耗的时间而提供一种基板搬运装置，其将基板搬运至保持装置，且包括：第一保持部，在所述保持装置的上方保持所述基板；第二保持部，保持经所述第一保持部保持的所述基板的一部分；以及驱动部，以所述第一保持部自所述保持装置的上方退避的方式，使所述保持装置及所述第二保持部与所述第一保持部中的一者相对于另一者相对移动；且所述保持装置、所述第一保持部及所述第二保持部在所述驱动部进行的相对移动中保持所述基板。 | ||
| 搜索关键词： | 搬运 装置 曝光 平板 显示器 制造 方法 元件 以及 | ||
【主权项】：
暂无信息
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