[发明专利]基板搬运、曝光装置、方法、平板显示器及元件制造方法有效
| 申请号： | 201780095240.6 | 申请日： | 2017-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN111149059B | 公开（公告）日： | 2022-08-26 |
| 发明（设计）人： | 青木保夫 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/677 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 马爽;臧建明 |
| 地址： | 日本东京港区港南二丁目*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 为了缩短基板更换所耗时间而提供一种基板搬运、曝光装置、方法、平板显示器及元件制造方法。基板搬运装置(100A)，向可保持基板(P2)的保持装置的保持面(TS)搬运基板(P2)。基板搬运装置(100A)包括：第一保持部(161A)，具有在保持装置上方保持基板(P2)的基板保持面；第二保持部(184a)，在上下方向保持面(TS)与基板保持面之间的位置，保持经第一保持部(161A)保持的基板(P2)的一部分；驱动部(164)，以第一保持部(161A)自保持装置上方退避的方式，在第二保持部(184a)保持基板(P2)的一部分的状态下，使保持装置及第二保持部(184a)与第一保持部(161A)相对移动。 | ||
| 搜索关键词： | 搬运 曝光 装置 方法 平板 显示器 元件 制造 | ||
【主权项】：
暂无信息
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