[发明专利]基板搬运、曝光装置、方法、平板显示器及元件制造方法有效
| 申请号： | 201780095324.X | 申请日： | 2017-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN111164513B | 公开（公告）日： | 2022-08-16 |
| 发明（设计）人： | 青木保夫 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/677 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 杨贝贝;臧建明 |
| 地址： | 日本东京港*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 为了缩短基板更换所耗时间而提供一种基板搬运、曝光装置、方法、平板显示器及元件制造方法，基板搬运装置(100A)，将基板(P2)搬运至保持装置的保持面(TS)，且包括：第一保持部(161A)，在保持装置上方保持基板；第二保持部(184a)，保持经第一保持部(161A)保持的基板的一部分；及驱动部(164)，以第一保持部(161A)自保持装置上方退避的方式，使保持装置及第二保持部(184a)与第一保持部(161A)向沿着保持面(TS)的既定方向相对移动；且第一保持部(161A)在驱动部(164)进行的相对移动中，以基板中经第一保持部(161A)保持的区域的上下方向的位置靠近保持装置的方式保持基板。 | ||
| 搜索关键词： | 搬运 曝光 装置 方法 平板 显示器 元件 制造 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社尼康，未经株式会社尼康许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201780095324.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：微电子组件
- 下一篇：蒸镀源及蒸镀装置、以及蒸镀膜制造方法
