[发明专利]界面特性得到提升的钝化发射极背面接触（PERC）太阳能电池制造方法以及制造装置在审
| 申请号： | 201780095430.8 | 申请日： | 2017-09-04 |
| 公开（公告）号： | CN111149217A | 公开（公告）日： | 2020-05-12 |
| 发明（设计）人： | 李炫澔;崔炳閏;韩钟国;崔钟圣;金玟镐;容汉内尔·马蒂亚斯;贾泽姆博夫斯基·恩里科;彼得斯·斯特凡 | 申请（专利权）人： | 韩华株式会社;韩华QCELLS有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/05 | 分类号： | H01L31/05;H01L31/18;H01L31/068 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 钟晶;钟海胜 |
| 地址： | 韩国首*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种钝化发射极背面接触(PERC)太阳能电池的制造方法以及制造装置，包括：将钝化发射极背面接触(PERC)太阳能电池的基板投入到腔室中并在上述腔室内的基板的背面形成钝化层的钝化层形成步骤；以及，形成对上述钝化层进行覆盖的遮盖层的遮盖层形成步骤；其中，在形成上述遮盖层之前，将在上述腔室内执行在沉积形成上述钝化层之后对上述钝化层进行退火的沉积后退火(PDA，Post‑deposition annealing)步骤。 | ||
| 搜索关键词： | 界面 特性 得到 提升 钝化 发射极 背面 接触 perc 太阳能电池 制造 方法 以及 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
