[发明专利]宽带隙半导体装置在审

专利信息
申请号: 201780096413.6 申请日: 2017-11-13
公开(公告)号: CN111295764A 公开(公告)日: 2020-06-16
发明(设计)人: 中村俊一 申请(专利权)人: 新电元工业株式会社
主分类号: H01L29/78 分类号: H01L29/78;H01L29/12
代理公司: 上海德昭知识产权代理有限公司 31204 代理人: 郁旦蓉
地址: 日本国东京都千*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明的宽带隙半导体装置,包括:第一导电型的漂移层12;由形成在漂移层上的第二导电型构成的阱区20;设置在阱区20上的源极区域31;设置在漂移层12以及阱区20上的栅极绝缘膜60;设置在栅极绝缘膜60与阱区20之间的场绝缘膜62;设置在栅极绝缘膜60上的栅电极125;以及与栅电极125电气连接的栅极衬垫120,其中,场绝缘膜62具有在面方向上延伸的凹部,阱区20具有与设置在凹部处的源极衬垫110电气连接的阱接触区域21。
搜索关键词: 宽带 半导体 装置
【主权项】:
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