[发明专利]宽带隙半导体装置在审
申请号: | 201780096413.6 | 申请日: | 2017-11-13 |
公开(公告)号: | CN111295764A | 公开(公告)日: | 2020-06-16 |
发明(设计)人: | 中村俊一 | 申请(专利权)人: | 新电元工业株式会社 |
主分类号: | H01L29/78 | 分类号: | H01L29/78;H01L29/12 |
代理公司: | 上海德昭知识产权代理有限公司 31204 | 代理人: | 郁旦蓉 |
地址: | 日本国东京都千*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明的宽带隙半导体装置,包括:第一导电型的漂移层12;由形成在漂移层上的第二导电型构成的阱区20;设置在阱区20上的源极区域31;设置在漂移层12以及阱区20上的栅极绝缘膜60;设置在栅极绝缘膜60与阱区20之间的场绝缘膜62;设置在栅极绝缘膜60上的栅电极125;以及与栅电极125电气连接的栅极衬垫120,其中,场绝缘膜62具有在面方向上延伸的凹部,阱区20具有与设置在凹部处的源极衬垫110电气连接的阱接触区域21。 | ||
搜索关键词: | 宽带 半导体 装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
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