[发明专利]冷却沉积源的方法、用于冷却沉积源的腔室和沉积系统在审
| 申请号： | 201780096814.1 | 申请日： | 2017-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN111344433A | 公开（公告）日： | 2020-06-26 |
| 发明（设计）人： | 克莱尔·阿姆斯特朗;弗兰克·施纳彭伯格;托马斯·德皮希 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明描述了一种冷却沉积源(200)的方法(100)。所述方法包括：停止(110)从沉积源沉积材料，所述沉积源布置在沉积腔室(250)中；并且将冷却气体引入(120)沉积腔室(250)中，所述冷却气体包含λ≥0.05[W/(m*K)]的导热率λ。进一步，本发明描述一种用于冷却沉积源的腔室。所述腔室包括布置在腔室中的沉积源。此外，腔室包括冷却气体供应系统，所述冷却气体供应系统被配置用于提供冷却气体至腔室中，所述冷却气体包含λ≥0.05[W/(m*K)]的导热率λ。 | ||
| 搜索关键词： | 冷却 沉积 方法 用于 系统 | ||
【主权项】：
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