[发明专利]光图案生成装置

摘要

本发明的目的在于，实现使用1片衍射光学元件生成多个种类的图案的光图案生成装置。本发明的光图案生成装置(100)的特征在于，具备：激光光源(1)，其输出激光；聚光用透镜(2)，其使从所述激光光源(1)输出的激光折射；掩模(3)，其吸收或反射由所述聚光用透镜(2)折射后的光的一部分，并且使与该一部分不同的所述折射后的光透过；以及衍射光学元件(4a)，其根据与透过了所述掩模(3)的透过光的行进方向垂直的平面上的位置，变更所述透过光的相位，输出具有形成光图案的相位分布的光，所述聚光用透镜(2)位于与所述激光光源(1)相距所述聚光用透镜(2)的焦距(f)的第1位置。