[发明专利]加工系统、形状测定探针、形状算出装置及存储介质有效
| 申请号： | 201780097866.0 | 申请日： | 2017-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN111511501B | 公开（公告）日： | 2022-05-27 |
| 发明（设计）人： | 山田智明 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康 |
| 主分类号： | B23Q17/20 | 分类号： | B23Q17/20;G01B21/00 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 马爽;臧建明 |
| 地址： | 日本东京港*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种加工系统、形状测定探针、形状算出装置及存储介质，能够改善所算出的加工对象物的形状数据的精度会降低的问题。所述加工系统包括：机床，包含输出测定信息的测定部，所述测定信息用以算出加工对象物的形状；控制部，生成与测定加工对象物时的测定部的位置相关的位置信息，并输出所生成的位置信息与表示生成位置信息的时期的生成时期信号；获取部，获取所输出的位置信息与生成时期信号；推定部，基于获取部获取生成时期信号的时期，来推定生成位置信息的时期；以及形状算出部，基于测定信息、位置信息及推定部所推定的时期，来算出加工对象物的形状。 | ||
| 搜索关键词： | 加工 系统 形状 测定 探针 装置 存储 介质 | ||
【主权项】：
暂无信息
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