[发明专利]光学检测设备及光学检测方法在审
申请号: | 201810000835.5 | 申请日: | 2018-01-02 |
公开(公告)号: | CN109799236A | 公开(公告)日: | 2019-05-24 |
发明(设计)人: | 邹嘉骏;江宏伟;赖宪平 | 申请(专利权)人: | 由田新技股份有限公司 |
主分类号: | G01N21/88 | 分类号: | G01N21/88;G01N21/15;B08B5/02 |
代理公司: | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人: | 马雯雯;臧建明 |
地址: | 中国台湾新北市中*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 本发明提供一种光学检测设备及光学检测方法。光学检测设备包括载台、图像获取装置及除尘装置。载台适于承载待测物。图像获取装置适于获取载台上的待测物的图像,以检测待测物。除尘装置连接于图像获取装置而适于随着该图像获取装置相对于待测物移动,且适于往载台上的待测物提供除尘气流。 | ||
搜索关键词: | 待测物 图像获取装置 光学检测设备 除尘装置 光学检测 载台 除尘气流 承载 图像 检测 移动 | ||
【主权项】:
1.一种光学检测设备,包括:载台,适于承载待测物;图像获取装置,适于获取所述载台上的所述待测物的图像,以检测所述待测物;以及除尘装置,连接于所述图像获取装置而适于随着所述图像获取装置相对于所述待测物移动,且适于往所述载台上的所述待测物提供除尘气流。
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