[发明专利]一种载台及生产线制作设备在审
| 申请号： | 201810001943.4 | 申请日： | 2018-01-02 |
| 公开（公告）号： | CN108183085A | 公开（公告）日： | 2018-06-19 |
| 发明（设计）人： | 李昀泽;朱文龙;张彬彬;刘红松;汪祖良;董宝杰 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;合肥鑫晟光电科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/687 | 分类号： | H01L21/687 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 许静;刘伟 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种载台及生产线制作设备，涉及显示基板的制作领域。载台包括：承载板，所述承载板的形成材料包括可形变材料，所述承载板划分为多个区域；与所述区域一一对应的控制单元，用于在对应的区域发生翘曲后，控制对应的区域发生抵消翘曲的形变。在本发明的方案中，载台设置有控制单元，通过控制单元来对承载板发生翘曲的区域进行形变，以抵消翘曲，可提高承载板的平坦度。在实际应用中，特别是进行激光切工艺，当承载板具有较高平坦度后，可以显著提高激光的聚集效果，从而保证切割工艺正常进行，可提供产品的制作良品率，因此对于厂商来讲，具有较高的实用价值。 | ||
| 搜索关键词： | 承载板 翘曲 载台 生产线制作 形变 抵消 激光 可形变材料 制作良品率 高平坦度 显示基板 形成材料 平坦度 切割 厂商 制作 应用 保证 | ||
【主权项】：
1.一种载台，其特征在于，包括：承载板，所述承载板的形成材料包括可形变材料，所述承载板划分为多个区域；与所述区域一一对应的控制单元，用于在对应的区域发生翘曲后，控制对应的区域发生抵消翘曲的形变。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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