[发明专利]一种膜层厚度的检测方法在审
| 申请号： | 201810002219.3 | 申请日： | 2018-01-02 |
| 公开（公告）号： | CN108050947A | 公开（公告）日： | 2018-05-18 |
| 发明（设计）人： | 吕明阳;李月;李金钰;李彦辰;赵宇;侯少军;王冬;冯大伟;郭旺;罗兴友 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;北京京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 许静;黄灿 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种膜层厚度的检测方法，通过使用照射光线照射待检测膜层，采集被待检测膜层散射形成散射光线，根据采集的散射光线得到光谱图，并可以从光谱图上获取所述待检测膜层的特征峰的参数信息，从而通过所述参数信息确定所述待检测膜层的厚度。这样，可以实现待检测膜层的厚度的自动检测，无需人工反复检测及反复调整，省时省力，方便快捷，有利于降低生产成本，提高产能，规范化生产工艺。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 厚度 检测 方法 | ||
【主权项】：
1.一种膜层厚度的检测方法，其特征在于，所述方法包括：使用照射光线照射待检测膜层；采集待检测膜层对照射光线进行散射后形成的散射光线，根据采集到的散射光线得到光谱图；从所述光谱图上确定所述待检测膜层的特征峰的参数信息；基于预设的特征峰的参数信息与膜层厚度之间的对应关系，确定与所述待检测膜层的特征峰的参数信息相对应的所述待检测膜层的厚度。
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