[发明专利]抛光液供给臂及抛光液供给装置在审
| 申请号： | 201810002341.0 | 申请日： | 2018-01-02 |
| 公开（公告）号： | CN108177089A | 公开（公告）日： | 2018-06-19 |
| 发明（设计）人： | 李伟;姜家宏;王铮 | 申请（专利权）人： | 北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所） |
| 主分类号： | B24B57/02 | 分类号： | B24B57/02 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人： | 曾章沐 |
| 地址： | 100176 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种抛光液供给臂及抛光液供给装置，属于抛光设备领域，该抛光液供给臂包括臂体、喷嘴固定件、喷嘴和抛光液输送管道；臂体具有沿其长度方向设置的第一安装槽和第二安装槽，喷嘴固定件设置在第一安装槽内，抛光液输送管道设置在第二安装槽内，喷嘴固定件内部沿其长度设置有供水管道，多个喷嘴分别与喷嘴固定件内部供水管道连通，并且多个喷嘴分布在喷嘴固定件的长度方向，喷嘴能够相对于喷嘴固定件转动以调整喷射角度。从而对抛光垫进行充分清洗，消除清洗盲区，保障晶圆的抛光均匀性。该抛光液供给装置中利用驱动机构通过传动轴驱动抛光液供给臂运动，以实现对抛光液供给臂旋转位置的自动控制。 | ||
| 搜索关键词： | 抛光液 喷嘴固定件 供给臂 喷嘴 安装槽 抛光液供给装置 供水管道 输送管道 臂体 清洗 长度方向设置 传动轴驱动 抛光均匀性 长度设置 抛光设备 驱动机构 旋转位置 抛光垫 晶圆 连通 喷射 盲区 转动 | ||
【主权项】：
1.一种抛光液供给臂，其特征在于，包括：臂体、喷嘴固定件、喷嘴和抛光液输送管道；所述臂体具有沿其长度方向设置的第一安装槽和第二安装槽，所述喷嘴固定件设置在所述第一安装槽内，所述抛光液输送管道设置在所述第二安装槽内，所述喷嘴固定件内部沿其长度设置有供水管道，多个所述喷嘴分别与所述喷嘴固定件内部所述供水管道连通，并且多个所述喷嘴分布在所述喷嘴固定件的长度方向，所述喷嘴能够相对于所述喷嘴固定件转动以调整喷射角度。
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