[发明专利]测量装置及隔垫物高度测量方法在审
申请号: | 201810003165.2 | 申请日: | 2018-01-02 |
公开(公告)号: | CN108225167A | 公开(公告)日: | 2018-06-29 |
发明(设计)人: | 王栋;赵文龙;徐海燕;崔晓强;唐欢;金贤镇;王钊 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司 |
主分类号: | G01B7/06 | 分类号: | G01B7/06 |
代理公司: | 北京鼎佳达知识产权代理事务所(普通合伙) 11348 | 代理人: | 王伟锋;刘铁生 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明公开了一种测量装置及隔垫物高度测量方法,涉及测量技术领域,主要目的是简化彩膜基板上隔垫物高度的检测方法,提高彩膜基板上隔垫物测量的准确度。本发明的主要技术方案为:一种测量装置,包括:电容部,所述电容部包括相对设置的第一导电板和第二导电板,其中,所述第一导电板和所述第二导电板之间的距离可调;检测部,所述检测部连接于所述电容部,用于检测所述电容部的电容值;电源部,所述电源部的两极分别连接于所述第一导电板和所述第二导电板。本发明主要用于测量彩膜基板上的隔垫物高度。 | ||
搜索关键词: | 导电板 隔垫物 电容部 彩膜基板 测量装置 检测 高度测量 电源部 测量 测量技术领域 距离可调 相对设置 准确度 电容 两极 | ||
【主权项】:
1.一种测量装置,其特征在于,包括:电容部,所述电容部包括相对设置的第一导电板和第二导电板,其中,所述第一导电板和所述第二导电板之间的距离可调;检测部,所述检测部连接于所述电容部,用于检测所述电容部的电容值;电源部,所述电源部的两极分别连接于所述第一导电板和所述第二导电板。
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