[发明专利]射频谐振器电极和薄膜组合及其制造方法有效
| 申请号： | 201810005261.0 | 申请日： | 2018-01-03 |
| 公开（公告）号： | CN108259019B | 公开（公告）日： | 2021-07-20 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 珠海晶讯聚震科技有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/13 | 分类号： | H03H9/13;H03H9/17;H03H3/02 |
| 代理公司： | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人： | 俞梁清 |
| 地址： | 519000 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种厚度在200‑500nm范围内的压电谐振膜，其中厚度可以控制在1％以内；该薄膜夹裹在电极之间以形成谐振器，其中至少一个电极包括铝，因此归功于电极的重量使阻尼最小化。 | ||
| 搜索关键词： | 射频 谐振器 电极 薄膜 组合 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种谐振器，包括夹裹在上电极和下电极之间的压电薄膜，其中所述下电极包括铝。
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