[发明专利]一种卧式还原气氛真空退火炉在审
| 申请号： | 201810007000.2 | 申请日： | 2018-01-04 |
| 公开（公告）号： | CN108204737A | 公开（公告）日： | 2018-06-26 |
| 发明（设计）人： | 匡万兵;谭俊峰;聂勇 | 申请（专利权）人： | 湖南新天力科技有限公司 |
| 主分类号： | F27B5/05 | 分类号： | F27B5/05;F27B5/06;F27B5/08;F27B5/14;F27B5/18 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 410004 湖南省长沙市雨花区韶*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明提供一种卧式还原气氛真空退火炉，包括机架、炉体、炉门、炉胆、绝热保温炉衬、加热元件、真空系统、气氛系统、控制系统、安全装置和散热装置，真空系统和气氛系统安装在机架下部，控制系统安装机架后部；炉胆采用高低温区设计，高温区采用U型硅钼棒加热，硅钼棒两侧布置，低温区采用FEC陶瓷纤维加热器加热，圆周式布置，高低温区设计有隔板结构；本发明中炉胆采用高、低温区设计，可以有效实现温度梯度；轻质纤维材料热导率较低、比重小，能有效降低设备正常使用过程中的电耗；真空系统和气氛系统采用真空机组和质量流量计控制，使得真空度较高、气体流量控制精度较好，达到高、精、尖CVD工艺实验的指标要求。 | ||
| 搜索关键词： | 气氛系统 真空系统 炉胆 真空退火炉 高低温区 还原气氛 控制系统 低温区 加热 陶瓷纤维加热器 气体流量控制 轻质纤维材料 质量流量计 电耗 安全装置 安装机架 隔板结构 工艺实验 机架下部 加热元件 降低设备 绝热保温 两侧布置 散热装置 温度梯度 有效实现 真空机组 指标要求 高温区 硅钼棒 热导率 炉衬 炉门 炉体 | ||
【主权项】：
1.一种卧式还原气氛真空退火炉，其特征在于，包括机架(1)、炉体(2)、炉门(3)、炉胆(4)、绝热保温炉衬(5)、加热元件(6)、真空系统(7)、气氛系统(8)、控制系统(9)、安全装置(10)和散热装置(11)，其中：炉体(2)安装在机架(1)上，炉门(3)与炉体(2)连接，炉胆(4)置于炉体(2)内部，绝热保温炉衬(5)安装在炉胆(4)内部，加热元件(6)在绝热保温炉衬(5)的两侧面布置安装，真空系统(7)和气氛系统(8)安装在机架(1)下部，控制系统(9)安装机架(1)后部，安全装置(10)和散热装置(11)安装在炉体(2)上部。
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