[发明专利]半导体元件测试载盘及其测试装置与设备有效
| 申请号： | 201810007443.1 | 申请日： | 2018-01-04 |
| 公开（公告）号： | CN110018405B | 公开（公告）日： | 2021-10-15 |
| 发明（设计）人： | 丁伟修 | 申请（专利权）人： | 京元电子股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26;B07C5/34;B07C5/36 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 任岩 |
| 地址： | 中国台湾新*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明是有关于一种半导体元件测试载盘及其测试装置与设备，半导体元件测试载盘包括有一承载座及一上盖。其中，承载座具有多个通孔及至少一定位柱，且承载座的上表面于每一通孔的周边具有至少一凹槽，用以承载一半导体元件；上盖盖合于该承载座，上盖具有多个贯孔及至少一定位孔，上盖的每一贯孔与承载座的每一通孔相对应，且上盖的至少一定位孔也与承载座的至少一定位柱相对应。藉此，测试载盘于滑移过程中，半导体元件在承载座上不会产生移位或跳脱的现象。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体 元件 测试 及其 装置 设备 | ||
【主权项】：
1.一种半导体元件测试载盘，包括：一承载座，具有多个通孔及至少一定位柱，该承载座的上表面于该每一通孔的周边具有至少一凹槽，用以承载一半导体元件；以及一上盖，盖合于该承载座，该上盖具有多个贯孔及至少一定位孔，该每一贯孔与该每一通孔相对应，该至少一定位孔与该至少一定位柱相对应。
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